Разделы

Авто
Бизнес
Болезни
Дом
Защита
Здоровье
Интернет
Компьютеры
Медицина
Науки
Обучение
Общество
Питание
Политика
Производство
Промышленность
Спорт
Техника
Экономика

Эпитаксиальные и атомно-слоевые методы выращивания тонких пленок

Передовым  методом получения многослойных гетероструктур и тонких пленок  с контролем толщины на атомном уровне является метод молекулярно-лучевой эпитаксии (МЛЭ). Эпитаксия -  выращивание монокристаллических слоев вещества на подложке, при которой кристаллографическая ориентация наращиваемых слоев повторяет кристаллографическую ориентацию подложки. МЛЭ – результат фантастического совершенствования метода термического испарения вещества в вакууме. Использование чистых источников  испаряемых материалов, сверхвысокий вакуум (<10-9 мм.рт. ст.), точный контроль температуры подложки, различные методы диагностики растущей пленки  в сочетании с компьютерной системой управления параметрами процесса   привели к созданию качественно новой технологии.

Метод химической сборки, основан на образовании поверхностных химических соединений при хемосорбции компонентов из газовой фазы. Существует две разновидности химической сборки.

  1. Метод атомно-слоевой эпитаксии позволяет синтезировать тонкопленочные слои оксидов и сульфидов, а также выращивать слои арсенида галлия при низких температурах.
  2. Метод молекулярного наслаивания основан на процессах синтеза твердых веществ на поверхности твердого тела.

В методе молекулярного наслаивания предусмотрено формирование  на поверхности определенных  функциональных групп, которые реагируют  с низкомолекулярным реагентом и образуют  устойчивые соединения.  Функциональные группы образуют компоненты синтезируемого слоя, например, для получения оксидных слоев  используется группа –ОН, для сульфидных –SH, для нитридных -NH. Химическая сборка– достаточно низкотемпературный процесс, что позволяет синтезировать слоевые композиционные материалы  с резкими границами  по составу и легированию.

Дата публикации:2012-11-09

Просмотров:1303

Вернуться в оглавление:

Комментария пока нет...


Имя* (по-русски):
Почта* (e-mail):Не публикуется
Ответить (до 1000 символов):







 

2012-2018 lekcion.ru. За поставленную ссылку спасибо.