Разделы

Авто
Бизнес
Болезни
Дом
Защита
Здоровье
Интернет
Компьютеры
Медицина
Науки
Обучение
Общество
Питание
Политика
Производство
Промышленность
Спорт
Техника
Экономика

Измерение вакуума

 

Для нанесения пленок термическим испарением требуется разряжение 10-5-10-7 мм.рт.ст. В таком диапазоне давлений вакуум измеряется только косвенными методами. В технологических установках нашли применение 2 основных типа манометров - вакууметров: термопарный и ионизационный.

Принцип действия термопарного вакуумметра основан на зависимости теплопроводности газа от его плотности, т.е давления. Эта зависимость наиболее сильно наблюдается для давлений 10-10-4 мм.рт.ст. Измерительным элементом является манометрическая лампа типа ЛМ. В ней расположен спай термопары и подогреватель. При нагрева слоя, на холодных концах термопары появляется Э.Д.С, которая зависит от температуры спая. Если давление газа уменьшается, то ухудшается теплообмен между газом и подогревателем, температура его увеличивается и, следовательно, увеличивается термо ЭДС.

Марка термодинамического вакуумметра – ВТ-2. Измеряет давление от 1 до 10-3 мм.рт.ст. Лампы манометрические: ЛТ-2(стеклянный баллон) ЛТ-4М (металлический баллон).

Принцип действия ионизационного вакуумметра основан на ионизации молекул газов электронами, эмитируемыми нагретым катодом, и измерении ионизационного тока, величина которого зависит от давления газа. Чем меньше молекул газа, тем реже электроны с ним сталкиваются, тем меньше ионный ток Ii = кIeP, где Iэ-ток эмиссии.

Марки ионизационнных вакуумметров: ВИТ-2,3, ВИТ-1, ВИ-12. В них стоят ионизационные манометрические лампы ЛМ-2, МИ-12. ВИТ-1 позволяет измерять давление от 10-3 до 10-7 мм.рт.ст, ВИ-12 даже более низкие давления: до 10-10 мм.рт.ст.

 

Изменение толщины и скорости нанесения пленки

 

1. Резистивный метод. Данным методом измеряется не толщина, а омическое сопротивление участка пленки. Используется пропорциональная зависимость ~. Метод применяется, как правило, для металлических пленок. Промышленный прибор КС-1. Диапазон рабочих R: от 0 до 50 кОм. Точность 5%. Максимальная толщина δ ~ 1мкм.

2. Резонансо - частотный метод или метод кварцевого резонатора. В основу метода свойство Si-кристалла изменять частоту колебаний при изменении напыленной на него массы пленки. Измеряемые толщины = 0,01÷5 мкм. Чувствительность 1 /Гц, 1 /см2 . Прибор - КИТ-1.

3. Ионизационный метод. В основе метода измерение ионизационного тока, возникшего за счет ионизации части потока паров осаждаемого материала. Ионизация осуществляется в специальном ионизационном преобразователе, соединенном с вакуумной камерой. Предельная измеряемая толщина неограниченна. Чувствительность - 1/сек. Точность 1-5% . Промышленный прибор ИСТИ - 1. Он может измерять так же и скорость осаждения. Нельзя использовать при катодном и ионно-плазменном распылении.

4. Оптические методы.

– по расчету кривой интерференции пленки. При этом необходимо знать показатель преломления материала. Точность 30%. Измеряемые толщины 0,3÷5 мкм (МИИ - 4).

- по измерению оптической плотности материала пленки δ ≤ 1 мкм.

 

Дата публикации:2014-01-23

Просмотров:437

Вернуться в оглавление:

Комментария пока нет...


Имя* (по-русски):
Почта* (e-mail):Не публикуется
Ответить (до 1000 символов):







 

2012-2018 lekcion.ru. За поставленную ссылку спасибо.