Разделы

Авто
Бизнес
Болезни
Дом
Защита
Здоровье
Интернет
Компьютеры
Медицина
Науки
Обучение
Общество
Питание
Политика
Производство
Промышленность
Спорт
Техника
Экономика

Марки кремния.

В условное обозначение слитка монокристалла Si входит:

1. Наименование (К-кремний)

2. Тип электропроводности (Э-электронный, Д - дырочный)

3. Легирующая примесь (Б - бор, Ф – фосфор, С – сурьма)

4. Номинал удельного электрического сопротивления (от 0.005 до 80 Ом*см)

5. Группа марки

6. Подгруппа по диаметру монокристалла и базовой длине:

диаметр 62.5 мм -“а”,78.5 мм -“б”,102.5 мм -“в”,127.5 мм -“г”,152.5 мм -”д”;

длина а-100 мм, б-15 мм, в,г,д-250 мм.

7. Отклонение от номинального диаметра после калибровки до 60, 76, 100, 125, 150 мм –

8. Кристаллографическая ориентация:

- нет индекса,- “м”,- “э”

9. Отсутствие свирлевых дефектов: с1-для с2-для

10. ГОСТ.

Пример наименования: ГОСТ 19658-81

 

Иногда при изготовлении слитков по другим технологиям в обозначение вводят буквы “М” – моносилановый метод, “Б” – бестигельное зонное плавление (КМД-5, БКЭ-2А).

Эпитаксиальные слои по ТУ обозначают n-n+, n-p, p-n+ , где первый индекс - электропроводность полупроводникового слоя, а второй индекс – подложки. Знак ”+” обозначает сильное легирование.

Для ИМС обозначение имеет вид дроби:

Для защиты поверхности Si в приборах наращивают защитное покрытие из SiO2 , путем нагрева при 1100-13000С в атмосфере O2 до толщин = 0.21.2 мкм.

В изготовлении больших ИС все большее распространение получает полукристаллический кремний. Осаждение проводят путем термического разложения силана SiH4 при 700, (то есть значительно больше сопротивления монокристалла). Из него выполняют резисторы, межсоединения, элементы транзисторов, обеспечивают надежную диэлектрическую изоляцию между элементами ИС. То есть делается комбинация элементов монокристаллического кремния и поликристаллического, что увеличивает плотность элементов и быстродействие ИС. Для увеличения проводимости поликристаллического кремния его легируют.

 

Дата публикации:2014-01-23

Просмотров:745

Вернуться в оглавление:

Комментария пока нет...


Имя* (по-русски):
Почта* (e-mail):Не публикуется
Ответить (до 1000 символов):







 

2012-2018 lekcion.ru. За поставленную ссылку спасибо.