Разделы

Авто
Бизнес
Болезни
Дом
Защита
Здоровье
Интернет
Компьютеры
Медицина
Науки
Обучение
Общество
Питание
Политика
Производство
Промышленность
Спорт
Техника
Экономика

Сопротивление тонких металлических плёнок. Размерный эффект

 

Металлические плёнки широко используются в микроэлектронике. Их электрические свойства могут значительно отличаться от свойств объёмного образца. Наряду с изменением структуры плёнок очень сильно возрастает роль поверхностных процессов в них за счет вклада поверхностных атомов. Возникают размерные эффекты. При близости толщины плёнки и длины свободного пробега электрона размерный эффект сказывается на электропроводности.

Область I соответствует

Область II -

Область III - ~, характеризуется отрицательным температурным коэффициентом удельного сопротивления. За счет туннелирования проводимость диэлектриков с ростом температуры может увеличиваться. Увеличению способствует островковый характер пленок и размерный эффект. Его причина в сокращении длины свободного пробега вследствие их отражения от поверхности образца.

Поскольку характер зарождения и роста пленок зависит от множества факторов, то на практике одинаковой толщины не совпадает. Поэтому для сравнительной оценки проводящих свойств тонких плёнок пользуются параметром – сопротивление квадрата (R). Rчисленно равен сопротивлению участка пленки, длина которого равна ширине , при прохождении тока через две его противоположные грани параллельно поверхности подложки. Для определения Rобразца пленки не требуется знание или ее толщины пленки, хотя формально R=.

В связи с этим сопротивление тонкой пленки может быть рассчитана по формуле:

R= R,

где - длина пленки, - ширина пленки.

Размерный эффект используется для изготовления пленочных резисторов (500-1000 Ом/□) из W, Mo, Ta, Re, Cr.

 

Дата публикации:2014-01-23

Просмотров:558

Вернуться в оглавление:

Комментария пока нет...


Имя* (по-русски):
Почта* (e-mail):Не публикуется
Ответить (до 1000 символов):







 

2012-2018 lekcion.ru. За поставленную ссылку спасибо.