Разделы

Авто
Бизнес
Болезни
Дом
Защита
Здоровье
Интернет
Компьютеры
Медицина
Науки
Обучение
Общество
Питание
Политика
Производство
Промышленность
Спорт
Техника
Экономика

Шлифование и полирование пластин

 

Проводят для улучшения плоскостности, подгонки под определенные размеры, получения требуемого класса чистоты поверхности. Осуществляют с помощью абразивов:

Шлифование проводят алмазом, В4С (карбид бора), SiC, α-Al2O3 (корунд)

Полирование проводят Cr2O3, SiO2, оксидами и карбидами РЗЭ.

Твердость по Моосу у алмаза - 10, B4C - 10, SiC - 9.5, Al2O3 - 9.2, Cr2O3 - 7-8, Si - 7, Ge - 6, GaAs - 4.5.

Обозначение абразивов: А - алмаз природный, АС - алмаз синтетический, КБ - карбид В, КЗ - SiC (зеленый), КЧ - SiC(черный), ЭБ - электрокорунд, КЗМ – 14 - SiC зеленый с диаметром 14 мкм.

Для алмазных порошков указанны верхние и нижние пределы размеров. АСМ-3/2 – алмаз синтетический от 3 до 2 мкм. Пасты могут быть водорастворимыми «В» и «М»-мазеобразными и т.д.

Шлифование позволяет получить 3 - 12 кл поверхности. Проводят микропорошками от 28 до 3 мкм или алмазными шлифовальными кругами зернистостью от 120 до 5 мкм. На твердых шлифовальных дисках из чугуна, стали, стекла.

Полирование – проводят на мягких подложках из фетра, велюра, батиста, пропитанных абразивными пастами на жировой основе с диаметром абразива от 3 до 0,25 мкм. Класс чистоты соответствует 10 и выше. Более высокий класс чистоты дают Cr2O3, ZnO2, SiO2. Разновидностью является химико-механическое полирование (в состав суспензии входят соли меди и фторсодержащие вещества). Максимальная скорость удаления кремния имеет место при скорости вращения диска ~ 1500 об/мин.

Шлифование проводят в 2 - 3 этапа, а полировку в 2 этапа:

1. предварительное шлифование SiC 14 мкм до 6-7 (удаляется 50 мкм, υ=1,5 мкм/мин);

2. основное шлифование SiC 10 мкм до 8-9 (удаляется 30 мкм, υ=1,0 мкм/мин);

3. окончательное шлифование α-Al2O3 M5 до 10 (удаляется 20 мкм, υ=0,17 мкм/мин). Алмазные круги сокращают время в 2,5 раза и используют в 2 этапа (АС-120 до11);

4. предварительное полирование микропорошками АМ-3 и АСМ-3 (3мкм) на батисте до 13 (удаляется 25 мкм, υ=0,7-1,0 мкм/мин).

5. окончательное полирование микропорошком АМ-1 (АСМ-1) или пастами АП-1 на искусственной замше до 14 (удаляется 5 мкм, υ=0,8-1,0 мкм/мин). Поверхности 13-14 класса контролируются интерференционным способом с помощью МИИ - 4 (измерительный интерференционный микроскоп Линника).

 

Дата публикации:2014-01-23

Просмотров:405

Вернуться в оглавление:

Комментария пока нет...


Имя* (по-русски):
Почта* (e-mail):Не публикуется
Ответить (до 1000 символов):







 

2012-2018 lekcion.ru. За поставленную ссылку спасибо.